行業(yè)轉型，TOPCon電池率先實現大規(guī)模量產：隨著PERC電池量產效率逐漸接近其理論效率，行業(yè)開始轉向TOPCon/HJT等N型電池。而TOPCon電池以其電池效率高、設備投 資成本低、與PERC產線兼容性高等優(yōu)點，率先實現大規(guī)模量產。據不完全統(tǒng)計，截止目前，TOPCon已投產69.75GW，規(guī)劃待建產能近474GW。

TOPCon存在工藝路線之爭。TOPCon電池與PERC電池核心差異在于，新增隧穿氧化層，以及摻雜多晶硅層。以多晶硅層制備方法，TOPCon工藝路線分為LPCVD/PECVD/PVD路線。從工業(yè)應用角度看，摻雜多晶硅層制備方法，要求工藝簡單、產能大；隧穿氧化層因其對電池整體性能影響十分關鍵，要求工藝制備的膜層致密度高、均勻性好。

從技術角度看，PECVD法能實現LPCVD法同等制備效果，且清洗繞鍍簡單，工藝精簡、良率預期更高。LPCVD路線技術成熟，但有嚴重繞鍍、原位摻雜難等問題。因繞鍍，LPCVD設備需增加一倍設備；PVD路線，根據ISFH研究觀點，PVD鈍化效果略差。且實際運行中，維護頻率高，開機率低；而PECVD路線輕微繞鍍、且清洗容易，可原位摻雜、工藝精簡，爆膜問題可通過電池背面微制絨解決。隧穿氧化層質量對電池效率影響至關重要。文獻數據顯示：從膜層密度角度看，PECVD制備的氧化層密度（2.2g/cm3）要優(yōu)于LPCVD（2.15g/cm3）；從膜層均勻性角度看，PECVD法制備的氧化層粗糙度1.38nm，與LPCVD制備的氧化層粗糙度1.36nm相當。

從經濟性角度看，PECVD路線設備投 資成本低、產能大、維護成本低、開機率高。根據皇氏集團機構調研紀錄表，（1）PE路線比LP路線設備采購成本少；（2）PE路線工藝時間短，單臺設備產能大，設備機臺數量少，省空間，設備好布局；（3）維護成本對比：LP路線石英管壽命平均56天，石英舟壽命60天，石英件消耗162萬/臺/年，PE路線石英管壽命1-2年，只有正常的石墨舟消耗，LP設備的石英件消耗比PE設備費用預計多出3530萬/年（5GW計）；（4）設備人員配置上，LP路線估計是PE路線的一倍以上，每天在做維護換石英管，且設備利用率較低，更換石英管需要3-4小時，期間整臺設備需停機。

結論：我們認為工藝穩(wěn)定后，PECVD成為TOPCon主流工藝，推動TOPCon大規(guī)模量產。建議關注：光伏整線設備龍 頭捷佳偉創(chuàng)（公司推出PE-Poly，即采用PECVD路線）、光伏激光設備龍頭帝爾激光。